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CN112782935B 抗蚀剂组成物及图案形成方法 （信越化学工业株式会社）.docxVIP

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  • 2026-03-11 发布于山西
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CN112782935B 抗蚀剂组成物及图案形成方法 （信越化学工业株式会社）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN112782935B

    (45)授权公告日2025.05.20

    (21)申请号202011225387.2

    (22)申请日2020.11.05

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112782935A

    (43)申请公布日2021.05.11

    (30)优先权数据

    2019-2022382019.11.07JP

    (73)专利权人信越化学工业株式会社地址日本东京都

    (72)发明人阿达铁平小林知洋及川健一大桥正树藤原敬之

    (74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)

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