CN102735712B 一种基于微井的气体传感器阵列及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN102735712B

(45)授权公告日2014.08.27

(21)申请号201210197280.0

(22)申请日2012.06.15

(73)专利权人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区(西区)西

FrankZee等.Micromachined

polymer-basedchemicalgassensorarray”.《sensorsandactuatorsB》.2001,第72卷第 120-128页.

Seung-ChulHa等.“Integratedand

源大道2006号

(72)发明人谢光忠朱涛廖剑周泳

蒋亚东杜晓松黎威志太惠玲(74)专利代理机构成都华典专利事务所(普通

microheaterembeddedgassensorarraybasedonthepolymercompositesdispensedin

micromachinedwells”.《sensorsandactuatorsB》.2005,第105卷第