激光干涉仪测量原理.pptVIP

激光干涉仪原理介绍——线性测量与回转轴校准

一、基本概念激光干涉仪是利用激光作为长度基准，对数控设备(加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。什么是激光干涉仪？

机床精度的21项误差ForLinearmeasurement(3):xdxydyzdzForAngularmeasurement(9):AxBxCxAyByCyAzBzCzForStraightnessmeasurement(6):xdyxdzydxydzzdxzdyForSquarenessmeasurement(3)XZ,XY,YZ

激光的产生LASER是LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation的缩写，意为通过受激发射线的放射达到光的放大，即激光。大多数现代位移干涉仪都使用氦氖(He-Ne)激光管，这些激光管具有633纳米(nm)的波长输出氦氖激光管的构成如下所示：

激光输出可视为一束正弦波。波长激光及其特点激光具有三个重要特性：激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。激光波长非常短，可以用于高精度测量。激光具有干涉特性。

光的干涉光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加，在某