CN113447057B 用于探测mems传感器元件的污物的方法和设备 (罗伯特·博世有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-12 发布于山西
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CN113447057B 用于探测mems传感器元件的污物的方法和设备 (罗伯特·博世有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113447057B

(45)授权公告日2025.05.23

(21)申请号202110325000.9

(22)申请日2021.03.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113447057A

(43)申请公布日2021.09.28

(30)优先权数据

102020203910.02020.03.26DE

(73)专利权人罗伯特·博世有限公司地址德国斯图加特

(72)发明人R·屈尔斯F·施普林格M·基特尔

(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司72002

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