CN102269869A 一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜及其制作方法 （西安励德微系统科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102269869A

(43)申请公布日2011.12.07

(21)申请号201110191627.6

(22)申请日2011.07.08

(71)申请人西安励德微系统科技有限公司

地址710075陕西省西安市高新区高新五路

2号创拓大厦201室

(72)发明人乔大勇康宝鹏燕斌刘耀波

(51)Int.CI.

GO2B26/08(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜及其制作方法

(57)摘要

CN102269869A本发明公开了一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜及其制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)领域。该微扭转镜利用沟槽使微扭转镜两边的固定锚点隔离为三部分：中间部分锚点为隔离接地的引线固定锚点，两侧部分锚点为隔离测试的引线固定锚点。当给加电引线锚点4和隔离加电引线锚点7组成的驱动端加驱动电压时，驱动梳齿对在静电力的作用下带动整个镜面转动；将四个隔离测试引线锚点9连接成一根引线与连接镜面的测试引线锚点3作为测试端，以此通过检测电容的变化实现系统的闭环控制。该微扭转镜结构简单，设计方法新颖，效果显著,能够有效的测量

CN102269869A

CN102269869A权利要求书1/1页

2

1.一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜，包括镜面，所述镜面通过两根支撑梁(2)分别悬置在加电引线锚点(4)和测试引线锚点(3)上；镜面两侧的两组活动梳齿(5)分别与位于两个固定锚点上的两组固定梳齿(6)构成梳齿对；其特征在于：所述固定锚点被两个固定锚点隔离槽(8)隔离成三部分：中间部分的隔离加电引线锚点(7)和两侧部分的隔离测试引线锚点(9);所述的隔离加电引线锚点(7)上的固定梳齿(6)和与之对应的活动梳齿

(5)构成驱动梳齿对；所述隔离测试引线锚点(9)上的固定梳齿(6)和与之对应活动梳齿

(5)构成检测梳齿对。

2.一种如权利要求1所述的沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜，其特征在于：所述驱动梳齿对和检测梳齿对的总数比为1:1到2:3范围之间。

3.一种如权利要求1或2所述沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1:清洗SOI硅片后，对硅片的器件层进行光刻以及ICP刻蚀，在器件层加工出与固定梳齿(6)连接的未加工沟槽的固定锚点、支撑梁(2)、活动梳齿(5)、固定梳齿(6)、加电引线锚点(4)、测试引线锚点(3);

步骤2:在硅片的器件层上涂光刻胶(10),光刻后在其上形成光刻胶上沟槽窗口(11)结构，光刻胶上沟槽窗口(11)对应的是固定锚点上的隔离槽窗口；

步骤3:以光刻胶(10)为掩模对硅片的器件层镜面两边的固定锚点进行ICP刻蚀，刻蚀到硅片的二氧化硅绝缘层为止，形成固定锚点隔离槽(8);

步骤4:去除光刻胶(10),得到最终的沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜。

CN102269869A说明书1/3页

3

一种沟槽隔离锚点梳齿的微扭转镜及其制作方法

[0001]所属领域

[0002]本发明属于微光机电系统(MOEMS)领域，主要涉及微机电系统(MEMS)技术、微扭转镜制作技术、电容测量技术以及微加工技术等。

背景技术

[0003]微扭转镜与传统光束偏转元件相比，具有能耗小、微型化、易集成等优点，加之其在通信、消费电子、生物医药、军事国防等领域的应用不断扩展，逐渐成为光学MEMS领域研究的热点。静电梳齿驱动微扭转镜具有结构简单、单位能量密度大、转动角度大的特点，是未来最具商业化前景的微扭转镜形式之一。

[0004]鉴于微扭转镜有着广阔的商业前景，特别是基于单片绝缘体上硅(SOI)硅片的垂直梳齿驱动微扭转镜，大大简化了制作工艺的成本和难度，为微扭转镜的研究开辟了新的天地。为此，近年来，国际上很多公司和研究院校的科研人员参加到各种形式的垂直梳齿驱动微扭转镜的研发当中。

[0005]1999年，康奈尔大学采用表面工艺结合深度反应离子刻蚀(DRIE)体硅工艺，制作了StaggeredVerticalComb(SV