CN102269868A 一种沟槽隔离镜面的微扭转镜及其制作方法 （西安励德微系统科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102269868A

(43)申请公布日2011.12.07

(21)申请号201110191626.1

(22)申请日2011.07.08

(71)申请人西安励德微系统科技有限公司

地址710075陕西省西安市高新区高新五路

2号创拓大厦201室

(72)发明人乔大勇康宝鹏燕斌刘耀波

(51)Int.CI.

GO2B26/08(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种沟槽隔离镜面的微扭转镜及其制作方法

(57)摘要

CN102269868A本发明公开了一种沟槽隔离镜面的微扭转镜及其制作方法，属于微光机电系统(MOEMS)领域。该微扭转镜的镜面由被沟槽隔离开的导电镜面1和隔离镜面2组成，所述沟槽被两边为二氧化硅4,中间为多晶硅3的夹心式材料填充。工作时，加电引线锚点7通电后，导电镜面1和其上的活动梳齿8通电，驱动梳齿对在静电力作用下带动整个镜面转动；由于沟槽的存在，隔离镜面2不导电，这样就可以通过不带电的检测梳齿对得到镜面转动引起的准确电容值。整个器件结构简单，设计方法新颖，效果显著,能够有效的测量出活动梳齿和固定梳齿之间电容，很好的实现系统的闭环控制，

CN102269868A

CN102269868A权利要求书1/1页

2

1.一种沟槽隔离镜面的微扭转镜，包括镜面，其特征在于，所述的镜面由被沟槽隔离开的导电镜面(1)和隔离镜面(2)组成；导电镜面(1)和隔离镜面(2)各通过一根支撑梁(5),分别与加电引线锚点(7)和测试引线锚点(6)连接，使得整个镜面由支撑梁(5)支撑悬置在两个锚点中间；镜面上的沟槽被两边为二氧化硅(4),中间为多晶硅(3)的夹心式材料填充；所述导电镜面(1)上布有活动梳齿(8),固定在加电引线固定锚点(11)上的固定梳齿(9)与之构成驱动梳齿对；所述隔离镜面(2)上也布有活动梳齿(8),固定在测试引线固定锚点(10)上的固定梳齿(9)与之构成检测梳齿对。

2.一种如权利要求1所述的沟槽隔离镜面的微扭转镜的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1:清洗SOI硅片后，光刻以及ICP刻蚀器件层，在器件层加工出未加工沟槽的镜面、支撑梁(5)、可动梳齿(8)、固定梳齿(9)、加电引线锚点(7)、加电引线固定锚点(11)、测试引线锚点(6)、测试引线固定锚点(10)结构；

步骤2:在硅片的器件层上涂光刻胶(12),光刻后在其上形成光刻胶上的沟槽窗口(13)结构，光刻胶上的沟槽窗口(13)对应的是镜面上的隔离槽窗口；

步骤3:以光刻胶(12)为掩模对器件层镜面进行ICP刻蚀，刻蚀到镜面下的二氧化硅绝缘层为止，形成镜面上的沟槽窗口(14),然后去除光刻胶(12);

步骤4:对器件层进行氧化，使得包括镜面，沟槽的侧壁及沟槽底部湿氧化一层二氧化硅层，这其中沟槽侧壁的二氧化硅层将形成镜面沟槽侧壁隔离物二氧化硅(4);

步骤5:给器件层所氧化的二氧化硅层上再沉积一层多晶硅层，保证多晶硅填满沟槽，以免造成镜面的不平整使得最后器件测试时对光的反射有损失；

步骤6:机械抛光镜面上沟槽外的多晶硅层，再去除除沟槽侧壁之外表面的二氧化硅层，最终形成沟槽里两边的二氧化硅(4)以及中间的多晶硅(3);

步骤7:对整张硅片进行背面的光刻及ICP深刻蚀，形成提供微扭转镜转动空间的背腔，在氢氟酸溶液中释放结构，去除微扭转镜底下的二氧化硅牺牲层，以此形成利用沟槽隔离镜面的微扭转镜结构。

CN102269868A说明书1/4页

3

一种沟槽隔离镜面的微扭转镜及其制作方法

[0001]所属领域

[0002]本发明属于微光机电系统(MOEMS)领域，主要涉及一种微扭转镜及其制作方法。

背景技术

[0003]微扭转镜与传统光束偏转元件相比，具有能耗小、微型化、易集成等优点，加之其在通信、消费电子、生物医药、军事国防等领域的应用不断扩展，逐渐成为光学MEMS领域研究的热点。静电梳齿驱动微扭转镜具有结构简单、单位能量密度大、转动角度大的特点，是未来最具商业化前景的微扭转镜形式之一。

[00