CN102671572A 一种压电驱动微混合器及其制作方法和控制方法 （吉林大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102671572A

(43)申请公布日2012.09.19

(21)申请号201210175152.6

(22)申请日2012.05.31

(71)申请人吉林大学

地址130012吉林省长春市前进大街2699

号

(72)发明人刘国君杨志刚刘建芳王浩李思明

(51)Int.CI.

BO1FB01FF04B

13/00(2006.01)

15/02(2006.01)49/06(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图4页

(54)发明名称

一种压电驱动微混合器及其制作方法和控制方法

(57)摘要

CN102671572A本发明公开了属于微混合器技术领域的一种压电驱动微混合器及其制作方法和控制方法。所述微混合器，由一整体PDMS基板将微流体驱动单元(即：压电泵)和微混合单元(即：混合流道)集成于一体，单晶片压电振子及单向阀片同PDMS基板封装构成压电泵，玻璃底板同PDMS基板封装构成混合流道；压电振子采用不同电压、频率、不同波形及相位交错式驱动电信号予以激励，实现微流体在微混合流道内高频脉动错位式混合。有效克服了微尺度下微流体依靠层流扩散进行混合，混合效率低，时间长等缺