CN102393251A 一种双层微测辐射热计及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN102393251A

(43)申请公布日2012.03.28

(21)申请号201110298926.X

(22)申请日2011.09.29

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市成都高新区(西

区)西源大道2006号

(72)发明人许向东杨卓蒋亚东何琼

樊泰君黄龙敖天宏马春前陈超

(74)专利代理机构成都华典专利事务所(普通合伙)51223

代理人杨保刚徐丰

(51)Int.CI.

G01J5/20(2006.01)

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)权利要求书3页说明书9页附图13页

(54)发明名称

一种双层微测辐射热计及其制作方法

(57)摘要

CN102393251A本发明公开了一种双层微测辐射热计及其制作方法，包括用于非制冷红外探测器或非制冷太赫兹探测器微测辐射热计的微桥结构，其特征在于，该微桥由上桥面和下桥面两个独立的桥面所组成，光吸收材料处在上桥面、热敏电阻材料处在下桥面，微桥上桥