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- 2026-03-13 发布于上海
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国家标准
200mm碳化硅单晶抛光片
编制说明
（征求意见稿）
标准编制组
二〇二五年十二月
国家标准《200mm碳化硅单晶抛光片》编制说明
（报批稿）
一、工作简况
1、立项目的和意义
SiC5G
碳化硅（）半导体材料是继硅材料后新近发展起来的新一代功率半导体，是
通信、电动汽车、轨道交通、新能源等产业发展的战略材料。美、欧、日等均将SiC半
导体材料纳入国家战略，我国也通过科技重大专项、战略性新兴产业发展规划等积极支
持SiC半导体材料研发、产业化。权威行业调研机构富士经济报告指出，在电动汽车、
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