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CN112992637B 衬底支撑板、包括它的衬底处理设备以及衬底处理方法 （Asmip私人控股有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-13 发布于山西
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CN112992637B 衬底支撑板、包括它的衬底处理设备以及衬底处理方法 （Asmip私人控股有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN112992637B

    (45)授权公告日2025.06.10

    (21)申请号202011237367.7

    (22)申请日2020.11.09

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN112992637A

    (43)申请公布日2021.06.18

    (30)优先权数据

    62/942,6172019.12.02US

    (73)专利权人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒

    (72)发明人金大渊金材玹李承桓

    (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105

    专利代理师王冉

    (51)I

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