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TTMAC-中束流离子注入机能量精度控制技术规范.pdfVIP

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  • 2026-03-16 发布于上海
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TTMAC-中束流离子注入机能量精度控制技术规范.pdf

    ICS31.080.01

    CCSL97

    T

    团体标准

    T/TMAC×××—2026

    中束流离子注入机能量精度控制技术规范

    Technicalspecificationforenergyprecisioncontrolof

    medium-beamionimplanter

    （征求意见稿）

    ××××-××-××发布××××-××-××实施

    中国技术市场协会发布

    中国技术市场协会（TMAC）是科技领域内国家一级社团，以宣传和促进科技创新，推

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