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CN113627457B 基于深度学习使用晶圆缺陷图像对晶圆内的缺陷进行分类的方法和系统 （坎泰克有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-13 发布于山西
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CN113627457B 基于深度学习使用晶圆缺陷图像对晶圆内的缺陷进行分类的方法和系统 （坎泰克有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113627457B

    (45)授权公告日2025.05.27

    (21)申请号202010831725.0

    (22)申请日2020.08.18

    (65)同一申请的已公布的文献号

    (51)Int.Cl.

    G06V10/764(2022.01)

    G06V10/774(2022.01)

    G06V10/776(2022.01)

    G06V10/778(2022.01)

    G06T7/00(2017.01)

    (56)对比文件

    TW201935590A,2019.09.01

    Esra’aAlshdaifat等

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