CN118399091A 基于3d打印微流道液态金属填充的可调谐宽带太赫兹超材料吸波器 （福州大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118399091A

(43)申请公布日2024.07.26

(21)申请号202410506106.2C22C28/00(2006.01)

(22)申请日2024.04.25

(71)申请人福州大学

地址350108福建省福州市闽侯县福州大

学城乌龙江北大道2号福州大学

(72)发明人钟舜聪付海文黄异孙福伟

张政浩陈樱

(74)专利代理机构福州元创专利商标代理有限

公司35100

专利代理师张灯灿蔡学俊

(51)Int.Cl.

H01Q17/00(2006.01)

H01Q15/00(2006.01)

C23C14/30(2006.01)

C23C14/16(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

基于3D打印微流道液态金属填充的可调谐

宽带太赫兹超材料吸波器

(57)摘要

本发明涉及一种基于3D打印微流道液态金

属填充的可调谐宽带太赫兹超材料吸波器，包括

若干个呈周期性分布的超材料吸波器单元，每个

超材料吸波器单元包括树脂层和金属反射层，树

脂层位于金属反射层上，树脂层通过3D打印在其

内部成型有微流道空腔层，微流道空腔层内填充

有液态金属，微流道空腔层包括中心微流道和连

接于其四周的连接微流道，相邻超材料吸波器单

元的微流道空腔层通过连接微流道连通；利用液

态金属的流动性，通过控制液态金属在微流道空

腔层中的注入与排出，使超材料吸波器的吸收性

A能在双峰窄带吸收与宽带吸收之间切换；通过改

1变液态金属的填充体积，实现对吸收带宽的调

9

0

9谐。该超材料吸波器结构简单，易于制造，且可实

9

3

8现吸收带宽的调谐。

1

1

N

C

CN118399091A权利要求书1/1页

1.一种基于3D打印微流道液态金属填充的可调谐宽带太赫兹超材料吸波器，其特征在

于，包括若干个呈周期性分布的超材料吸波器单元，每个超材料吸波器单元包括树脂层和

金属反射层，所述树脂层位于金属反射层上，所述树脂层通过3D打印在其内部成型有微流

道空腔层，所述微流道空腔层内填充有液态金属，所述微流道空腔层包括中心微流道和连

接于中心微流道四周的连接微流道，相邻超材料吸波器单元的微流道空腔层通过连接微流

道连通；利用液态金属的流动性，通过控制液态金属在微流道空腔层中的注入与排出，使超

材料吸波器的吸收性能在双峰窄带吸收与宽带吸收之间切换；通过改变液态金属的填充体

积，实现对吸收带宽的调谐。

2.根据权利要求1所述的基于3D打印微流道液态金属填充的可调谐宽带太赫兹超材料

吸波器，其特征在于，单个超材料吸波器单元结构周期为P＝198μm。

3.根据权利要求1所述的基于3D打印微流道液态金属填充的可调谐宽带太赫兹超材料

吸波器，其特征在于，所述树脂层的厚度为h＝75μm，所述微流道空腔层的厚度为h＝25μm，

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所述金属反射层的厚度为h＝0.2μm。

4.根据权利要求1所述的基于3D打印微流道液态金属填充的可调谐宽带太赫兹超材料

吸波器，其特征在于，所述金属反射层使用电子束蒸发镀膜系统在双面抛光硅片上镀上一

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层金膜形成，金的电导率为4.56×10S/m。

5.根据