CN103606551B 碳化硅沟槽型半导体器件及其制作方法 (泰科天润半导体科技(北京)有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-15 发布于重庆
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CN103606551B 碳化硅沟槽型半导体器件及其制作方法 (泰科天润半导体科技(北京)有限公司).docx

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103606551B公告日2016.08.17

(21)申请号201310492586.3

(22)申请日2013.10.18

(73)专利权人泰科天润半导体科技(北京)有限公司

地址100192北京市海淀区清河西小口路

66号中关村东升科技园B-1西厅

(72)发明人倪炜江陈彤

(74)专利代理机构北京正理专利代理有限公司

(56)对比文件

CN103354208A,2013.10.16,

US2013/

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