CN103866291B 一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法 （中微半导体设备(上海)有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103866291B公告日2017.02.08

(21)申请号201210553227.X

(22)申请日2012.12.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN103866291A

(43)申请公布日2014.06.18

(73)专利权人中微半导体设备(上海)有限公司地址201201上海市浦东新区金桥出口加

工区(南区)泰华路188号

(72)发明人张力贺小明浦远倪图强

(74)专利代理机构上海智信专利代理有限公司

31002

代理人王洁

(51)Int.CI.

C23C16/455(2006.01)

C23C28/00(2006.01)

(56)对比文件

CN101323206A,2008.12.17,

WO2011109758A2,2011.09.09,US2009000742A1,2009.01.01,CN202359197U,2012.08.01,

审查员张皓

权利要求书1页说明书5页附图2页

(54)发明名称

一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制作方法

(57)摘要

CN103866291B本发明公开了一种耐腐蚀