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新建28万片8英寸MEMS用硅片生产及微机电系统配套项目可行性研究报告

第一章总论

项目背景

当前全球科技革命与产业变革加速演进，MEMS（微机电系统）作为集微型传感器、执行器、信号处理和控制电路于一体的先进制造技术，已成为支撑人工智能、智能汽车、物联网、工业互联网等战略性新兴产业发展的核心基础部件。中国“十五五”规划（2026-2030年）明确将半导体产业定义为支撑现代化强国建设的战略性核心产业，提出要实现全产业链自主可控与创新突破，将半导体供应链安全提升至国家安全层面。

在MEMS产业发展中，8英寸硅片作为主流衬底材料，其性能直接决定MEMS器件的精度、可靠性和成本控制。目前国内8英寸