CN103631086A 一种用于集成光电子器件的微纳图形的制作方法及应用 (华中科技大学).docxVIP

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  • 2026-03-15 发布于重庆
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CN103631086A 一种用于集成光电子器件的微纳图形的制作方法及应用 (华中科技大学).docx

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103631086A

(43)申请公布日2014.03.12

(21)申请号201210297193.2

(22)申请日2012.08.21

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市武昌珞喻路

1037号

(72)发明人余永林赵家霖唐怡超赵航

(74)专利代理机构湖北武汉永嘉专利代理有限

公司42102代理人王超

(51)Int.CI.

GO3F7/00(2006.01)

GO3F9/00(20

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