CN114008749B 用于补偿射频功率损耗的系统和方法 （朗姆研究公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114008749B

(45)授权公告日2025.05.16

(21)申请号202080045167.3

(22)申请日2020.05.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114008749A

(43)申请公布日2022.02.01

(30)优先权数据

62/864,3462019.06.20US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.12.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2020/0346982020.05.27

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2020