CN103342332A 基于cmos工艺的集成热电堆红外探测系统及其制作方法 （江苏物联网研究发展中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103342332A

(43)申请公布日2013.10.09

(21)申请号201310284332.2

(22)申请日2013.07.08

(71)申请人江苏物联网研究发展中心

地址214135江苏省无锡市新区菱湖大道

200号中国传感网国际创新园C座4楼

(72)发明人孟如男王玮冰

(74)专利代理机构无锡市大为专利商标事务所

32104

代理人殷红梅

(51)Int.CI.

B81BB81B

B81CGO1J

7/00(2006.01)

7/02(2006.01)1/00(2006.01)

5/20(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图9页

(54)发明名称

基于CMOS工艺的集成热电堆红外探测系统及其制作方法

(57)摘要

CN103342332AAB本发明涉及一种基于CMOS工艺的集成热电堆红外探测系统及其制作方法，所述红外探测系统分为热电堆红外探测器和CMOS信号处理电路两部分，改进了MEMS热电堆传感器和CMOS信号处理电路的兼容性，完全采用CMOS工艺集成热电