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基于MEMS的4×4微推进阵列：制备工艺与性能的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着航天技术的飞速发展，微小卫星因其具有成本低、研制周期短、发射灵活等优势，在通信、遥感、科学探测等领域得到了广泛应用。而微推进系统作为微小卫星实现轨道转移、姿态控制等功能的关键部件，其性能直接影响着微小卫星的任务完成能力和应用效果。

微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）技术作为一种融合了微电子技术、微机械加工技术、材料科学等多学科的前沿技术，为微推进系统的发展带来了新的机遇。MEMS技术能够实现微推进器的小型化、集成化和批量化生产，从而降低成本、提高性能。MEMS技术经历了四十余年的演进，从最初的压力传感器、加速度计等基础应用，逐步拓展到麦克风、扬声器和时钟器件，推动其在汽车、消费电子、工业控制、生物医疗等众多领域全面落地。在航天领域，MEMS技术的应用使得微小卫星的发展成为可能，并且促进了微推进系统的不断创新。

微推进阵列作为一种新型的微推进系统，通过将多个微推进器集成在一起，可以实现更高的推力和冲量，满足不同任务需求。在微小卫星的轨道转移过程中，需要较大的推力来改变卫星的轨道高度和轨道平面，微推进阵列可以通过多个微推进器的协同工作，提供足够的推力，确保卫星能够准确地进入预定轨道。在姿态控制方面，微推进阵列可以根据卫星的姿