一种片上多路静电保护器件结构设计与仿真.doc

论文（设计）题目：一种片上多路静电保护器件结构设计与仿真

内容提要

本文首先介绍静电防护器件的研究背景与意义，分析片上静电防护器件的国内外研究现状、存在的问题，介绍了器件仿真的环境。然后介绍了二极管和SCR器件的结构以及在ESD防护中的工作原理，对叠加二极管的ESD防护器件的版图进行修改，形成嵌入式SCR路径，并进行结构、工作原理的分析。最后，利用SilvacoTCAD器件模拟工具进行仿真验证。通过仿真获得器件触发时的碰撞离化率、电场分布和维持时的电流密度、温度分布图，对其工作原理进行分析验证；通过测试器件的I-V特性曲线，对其进行性能的分析及原理的验证。本文的基于嵌入式S