真空烧结炉测试规范.docVIP

ICS25.180

CCSH91

团体标准

T/SDMIXXXX-2026

真空烧结炉测试规范

TestSpecificationforVacuumSinteringFurnace

2026-XX-XX发布2026-XX-XX实施

山东省机械工业协会发布

T/SDMI×××-2026

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目录

前言2

1.范围3

2.规范性引用文件3

3.术语和定义3

4.型号与基本参数4

5.技术要求4

6.主要参数测量方法5

7.检验规则6

8标志、包装、运输、贮存7

前??言

本文件按GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和编写》的规定编制。

本文件由山田新材料集团有限公司提出。

本文件由山田新材料集团有限公司归口。

本文件起草单位：山田新材料集团有限公司、山东省机械设计研究院。

本文件主要起草人：

真空烧结炉测试规范

范围

本文件规定了真空烧结炉的术语、型号与基本参数、技术要求、主要参数测量方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于真空状态下含碳的碳化硅毛坯通过加热，使具有反应活性的液态硅，在毛细管力的作用下渗入坯料，部分液态硅与其中的碳反应生成碳化硅并完成致密化的真空炉（以下简称真空炉）。

规范性引用文件

下列文件对于本标准的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本标准。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GB2894安全标志及其使用导则

GB/T5959.1电热装置的安全第1部分：通用要求

GB5959.4电热装置的安全第4部分：对电阻加热装置的特殊要求

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件

GB/T9452热处理炉有效加热区测定方法

GB/T10066.1-2019电热和电磁处理装置的试验方法第1部分：通用部分

GB/T10066.4-2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉

GB/T10067.1-2019电热和电磁处理装置基本技术条件第1部分：通用部分

GB/T10067.4-2005电热装置基本技术条件第4部分：间接电阻炉

JB/T10550真空技术真空烧结炉

术语和定义

以下术语和定义适用于本文件。

真空vacuum

用来描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。

3.2

真空度degreeofvacuum

表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示。

3.3

极限压力ultimatepressure

在空炉冷态情况下，用真空炉本身配套的真空系统对干燥的真空炉腔抽空所能达到的一个趋向稳定的最低压力。

3.4

升压率rateofpressurerise

将干燥的真空炉腔连续抽气至极限压力，截止抽气15min后，测得真空炉腔由于漏气及内部放气造成的单位时间的压升。

型号与基本参数

型号

4.1.1真空炉型号编制方法如下:

基本型号―辅助型号

ZSD―X1―X2X3

——“Z”代表“真空”，以中文“真空”的第一个字母“Z”表示。

——“S”代表“烧结”，以中文“烧结”的第一个字母“S”表示。

——“D”代表“电阻”，以中文“电阻加热”的第一个字母“D”表示。

——“X1”代表真空炉均温区的尺寸(以宽度的百分之一表示)。

——“X2”代表真空炉的均温区长度(单位为mm)。

——“X3”代表真空炉的型式，以“W”表示卧式炉，“L”表示立式炉，“F”表示复合式炉。

4.1.2型号示例：均温区为900mm×900mm×13600mm的卧式真空炉型号应为ZSD-9-13600W。

主要参数（见表1）

表1参数表

参数名称

参数值

极限压力

Pa

≤5

升压率

Pa/h

≤2（空炉、冷态、高温干燥烘烤后）

最高温度

℃

2300

炉温均匀度

℃

±10

控温精度

℃

±5

升温速率

℃/min

50

技术要求

一般要求

5.1.1真空炉设计应满足生产工艺、安全可靠、技术先进、操作维护方便、经济耐用、节能环保和实用美观等要求

5.1.2真空炉中的机械、电气方面的配套件应符合相应标准的规定。

5.1.3真空炉应符合其经规定程序批准的设计图纸，并满足产品标准和有关技术文件的要求。

真空炉各关键系统

加热系统

真空炉的加热区