CN118841298B 一种聚焦束流自动调整系统、方法及离子注入机 (季华恒一(佛山)半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-17 发布于重庆
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CN118841298B 一种聚焦束流自动调整系统、方法及离子注入机 (季华恒一(佛山)半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN118841298B

(45)授权公告日2025.01.17

(21)申请号202411324806.6(51)Int.Cl.

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