CN111704104B 用于制造mems压力传感器的方法和相应的mems压力传感器 (意法半导体股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-18 发布于山西
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CN111704104B 用于制造mems压力传感器的方法和相应的mems压力传感器 (意法半导体股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111704104B

(45)授权公告日2025.06.20

(21)申请号202010562184.6

(22)申请日2016.09.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111704104A

(43)申请公布日2020.09.25

(30)优先权数据

1020160000333082016.03.31IT

(62)分案原申请数据

201610868540.02016.09.29

(73)专利权人意法半导体股份有限公司地址意大利阿格拉布里安扎

(72)发明人L·巴尔多S·

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