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- 2026-03-18 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN118652696B
(45)授权公告日2025.01.14
(21)申请号202411070716.9C09K13/00(2006.01)
H01L21/027(2006.01)
(22)申请日2024.08.06
(56)对比文件
(65)同一申请的已公布的文献号
申请公布号CN118652696ACN103955120A,2014.07.30
CN113088982A,2021.07.09
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