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晶圆应力调控项目可行性研究报告

第一章项目总论

项目名称及建设性质

项目名称

晶圆应力调控项目

项目建设性质

本项目属于新建高新技术产业项目，专注于晶圆应力调控技术的研发、设备制造与技术服务，旨在填补国内高端晶圆应力调控领域的技术空白，推动半导体产业链关键环节的自主可控。

项目占地及用地指标

项目规划总用地面积52000平方米（折合约78亩），建筑物基底占地面积37440平方米；总建筑面积61360平方米，其中绿化面积3380平方米，场区停车场和道路及场地硬化占地面积10400平方米；土地综合利用面积51220平方米，土地综合利用率98.5%。

项目建设地点

项目选址定于江苏省无锡市新吴区