CN103969724B 一种衍射光学元件的制作方法 （厦门大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN103969724B公告日2016.08.17

(21)申请号201410220044.5

(22)申请日2014.05.23

(73)专利权人厦门大学

地址361005福建省厦门市思明南路422号

(72)发明人张保平左海杰张江勇应磊莹

(74)专利代理机构厦门南强之路专利事务所

(普通合伙)35200代理人马应森

(51)Int.CI.

GO2B5/18(2006.01)

GO2B3/00(2006.01)

GO3F7/20(2006.01)

审查员欧阳姣

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

一种衍射光学元件的制作方法

(57)摘要

CN103969724B一种衍射光学元件的制作方法，涉及微光学器件的制作。1)在基片上制作金属层；2)涂胶，光刻显影，腐蚀出金属层作为刻蚀掩膜，该金属层直径为微透镜最外层环带外径；3)按设计厚度刻蚀基片形成最外层第一个环带；4)第二次涂胶，背面曝光光刻，显影，保留光刻胶，侧向腐蚀步骤2)中的金属层，去除光刻胶；5)正面涂胶，背面曝光显影；6)按设计厚