CN114514599B 半导体制造装置、使用半导体制造装置的半导体装置的制造方法及半导体装置 （三菱电机株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114514599B

(45)授权公告日2025.05.13

(21)申请号202080069138.0

(22)申请日2020.09.29

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114514599A

(43)申请公布日2022.05.17

(30)优先权数据

2019-1846172019.10.07JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.03.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2020/0368862020.09.29

(87)PCT国际申请的公布数据

WO202