CN104576542A 阵列基板及其制作方法、显示装置 （合肥鑫晟光电科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104576542A

(43)申请公布日2015.04.29

(21)申请号201510038372.8

(22)申请日2015.01.26

(71)申请人合肥鑫晟光电科技有限公司

地址230011安徽省合肥市新站区工业园内

申请人京东方科技集团股份有限公司

(72)发明人王玉亮崔大永刘增利李道杰陈士娟

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

代理人

(51)Int.CI.

HO1LHO1L

HO1L

公司11243

许静黄灿

21/84(2006.01)

27/12(2006.01)

23/50(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图3页

(54)发明名称

阵列基板及其制作方法、显示装置

(57)摘要

CN104576542A本发明提供一种阵列基板及其制作方法、显示装置。本发明在覆盖导电图形或半导体图形的绝缘层上涂布光刻胶；曝光，至少形成光刻胶部分保留区域、光刻胶完全去除区域；刻蚀，至少部分地去除所述光刻胶完全去除区域对应的所述绝缘层，形成中间孔；再次刻蚀，形成所述第一过孔，并在所述中间孔处形成所述第二过孔，露出所述第一过孔和第二孔处