原创力文档名称No表征技术检验特征
利用微弱力敏感元件来感知和测量样品与探针之间
的相互作用力。这一元件通常由氮化硅片或硅片制
成，具有极高的弹性敏感度。在微悬臂的顶端，则
配备了一个微小的针尖，通常由硅或碳米管等材
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