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硅基片上二维光学相控阵：原理、进展与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，光学领域不断涌现出创新技术，硅基片上二维光学相控阵便是其中备受瞩目的一项关键技术。它在现代光学系统中占据着举足轻重的地位，为众多领域带来了新的发展机遇和变革。

硅基片上二维光学相控阵是一种基于硅基材料的新型光学器件，通过对多个微小光学单元的相位进行精确控制，实现光束的灵活转向、聚焦和调制。这种器件将光学与微电子技术相结合，充分利用了硅基材料在半导体制造工艺中的成熟性和优势，具备高度集成化、小型化、低功耗以及与CMOS工艺兼容等显著特点。

在激光雷达领域，硅基片上二维光学相控阵展现出了巨大的应用