CN114695054B 可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置 (北京屹唐半导体科技股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-20 发布于山西
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CN114695054B 可配置的法拉第屏蔽体及其操作方法、等离子体处理装置 (北京屹唐半导体科技股份有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114695054B

(45)授权公告日2025.05.23

(21)申请号202111574139.3

(22)申请日2021.12.21

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114695054A

(43)申请公布日2022.07.01

(30)优先权数据

63/130,9902020.12.28US

63/208,0502021.06.08US

(73)专利权人北京屹唐半导体科技股份有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区经海二路28号8幢专利权人玛特森技术公司

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