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CN119115787B 化学机械抛光方法、装置、设备和存储介质 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-03-20 发布于重庆
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CN119115787B 化学机械抛光方法、装置、设备和存储介质 （华海清科股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN119115787B

    (45)授权公告日2025.01.21

    (21)申请号202411612205.5H01L21/768(2006.01)

    (22)申请日2024.1

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