1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 说明文书

CN114675497B 调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）.docxVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.37万字
  • 约 25页
  • 2026-03-20 发布于山西
  • 举报

CN114675497B 调焦调平装置、光刻机系统及离焦量的测量方法 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114675497B

    (45)授权公告日2025.05.20

    (21)申请号202011565072.2

    (22)申请日2020.12.25

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114675497A

    (43)申请公布日2022.06.28

    (73)专利权人上海微电子装备（集团）股份有限公司

    地址201203上海市浦东新区张东路1525

    号

    (72)发明人程于水徐荣伟庄亚政孙建超

    (74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限公司31295

    专利代理师王宏婧

    (51)Int

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >