《GB/TXXXX-XXXX磷化镓单晶》标准修订与发展研究报告
EnglishTitle:ResearchReportontheRevisionandDevelopmentoftheStandardforGalliumPhosphideSingleCrystals(GB/TXXXX-XXXX)
摘要
磷化镓(GaP)作为第二代化合物半导体的核心材料之一,是制备红、黄、绿光发光二极管(LED)及部分光电子器件的关键衬底材料。其单晶材料的质量直接决定了外延层的生长质量与最终器件的性能、良率及可靠性。随着全球半导体照明产业的升级和微电子、光电子技术的飞速发展,
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