流体与混杂模型在低气压射频感性耦合等离子体源应用研究.pptxVIP

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  • 2026-03-21 发布于北京
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流体与混杂模型在低气压射频感性耦合等离子体源应用研究.pptx

赵书霞大连理工大学2018.08.20-威海流体和混杂模型及其在低气压射频感性耦合等离子体源内的应用第四届国内等离子体数值模拟培训会

报告提纲关于流体模型的一点思考新型能量守恒方程及其功能的介绍背景气体输运过程对放电的影响Ar/O2等离子体空间分布形貌特征的分析混杂模型的简单介绍碳氟等离子体源的若干放电机理结论和致谢

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