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2026年集成电路材料装备企业技术改造奖励申报.docx

2026年集成电路材料装备企业技术改造奖励申报.docx

    TOC\o1-3\h\z\u297252026年集成电路材料装备企业技术改造奖励申报 2

    14359一、总则 2

    22131.目的和背景 2

    120232.奖励政策概述 3

    275873.适用范围及对象 5

    32521二、申报条件 6

    75241.企业基本条件 6

    230992.技术改造项目要求 8

    150233.申报材料准备及提交方式 9

    30809三、奖励内容与标准 11

    303271.技术改造投资额度奖励 11

    67192.技术创新成果奖励 12

    189943.政策支持与优惠措施 1

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