芯片制造与技术资料第三章-集成电路的制造工艺.pdfVIP

第三章集成电路的制造工艺

为何要介绍IC制造工艺？

（1）集成电路设计人员虽然不需要直接参

与集成电路的工艺流程和掌握工艺的细

节，但了解集成电路制造工艺的基本原理

和过程，对于集成电路设计大有裨益。

（2）这些工艺可应用于各类半导体器件和

集成电路的制造过程。

代客户加工（代工）方式

⚫芯片设计单位和工艺制造单位的分离。即芯片设

计单位可以不拥有生产线而存在和发展，而芯片

制造单位致力于工艺实现，即代客户加工（简称

代工）方式。

代工方式已成为集成电路技术发展的一个重要特征

无生产线设计与代工方式的关系图

PDK文件

首先，代工单位将经过前期开发确定的一套工艺

设计文件PDK（PocessDesignKits)通过因特网传

送给设计单位。

⚫PDK文件包括：工艺电路模拟用的器件的SPICE

参数，版图设计用的层次定义，设计规则，晶

体管、电阻、电容等元件和通孔（VIA）、焊盘

等基本结构的版图，与设计工具关联的设计规

则检查（DRC）、参数提取（EXT）和版图电路

对照（LVS）用的文件。

电路设计和电路仿真

设计单位根据研究项目提出的技术指标，在自

己掌握的电路