2026《氮化物涂层的研究现状的文献综述》3800字.docx

1.

PAGE1

PAGE1

氮化物涂层的研究现状的文献综述

1.1氮化物涂层的制备技术（多弧、染滴）

氮化物由于其自身独特的晶体结构，具有高硬度、高熔点、优异的高温稳定性、抗磨损和耐腐蚀性能。被广泛用作刀具、工模具等的表面硬质耐磨改性层以及航空航天零部件的多功能表面涂层[1-5]。随着对氮化物涂层研究的深入，其制备工艺也成为氮化物涂层发展的关键一环。目前较为成熟的氮化物涂层制备工艺可大致分为物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）两大类[5]。

物理气相沉积利用真空条件，采用利用加热或荷能粒子溅射等物理方法（源物质只发生形态转变而不发生化学变化）将源材料的原子或分子转移