新型固态光电传感器.pptxVIP

2026年3月21日1新型传感器技术张认成

华侨大学机电及自动化学院硕士研究生系列课程

2026年3月21日2第一章新型固态光电传感器象限探测器

光敏器件阵列

自扫描光电二极管阵列

光电位置传感器PSD

电荷耦合器件CCD—以集成电路、半导体加工工艺以及光电效应为基础的阵列传感器

2026年3月21日3本章内容提要光电效应普通光敏器件阵列自扫描二极管阵列光电位置传感器PSD

2026年3月21日41光电效应定义：物质由于光的作用而产生电流、电压，或电导率变化的现象分类：外光电效应(电子发射效应)内光电效应光电导效应光生伏特效应

2026年3月21日51.1外光电效应产生外光电效应的条件：入射光的频率必须大于材料的红限+_光电子光子光电流方向光电子流向外光电效应

2026年3月21日61.1.1原理与结构光照?物质?电子获能?逸出表面?光电流(光子)(光电子)光电流正比于光强度入射光的频率必须大于材料的红限光电传感器对光具有选择性光电材料:银氧铯\锑铯\镁化镉等举例:光电管\光电倍增管

2026年3月21日71.1.2真空光电管

1.组成：光电阴极＋阳极A＋透明外壳2.结构与测量电路：阳极阴极结构IURE测量电路

2026年3月21日8真空光电管的特点线性度好;灵敏度低；测量弱