分子流模块：真空系统设计与仿真工具.pdfVIP

分子流模块

真空设计工程师和研究人员可以使用分子流模块来设计真空系统，理解并

预测低压气体的流动。在设计流程中仿真工具的使用变得越来越普遍，因为这

些工具可以提高工程师对研究过程的认识，减少研发成本，加快研发进度。真

空系统开发过程中构建产品原型通常成本非常高昂，因此在研发过程中使用仿

真方法可以显著地节省成本。

真空系统的气体流动需要使用与传统流体流动问题不同的方程来描述。在

低压环境下，气体分子的平均自由程与系统的尺度相当，气体的稀薄效应变得

很重要。通常情况下，稀薄度可以通过Knudsen数来描述，Kn=l/l，其中l是

气体分子的平均自由程，l是系统的特征尺度。随着数密度（或）减小或

系统尺寸减小，Knudsen数逐渐增大。对于不同的Knusden数，需要使用不

同的流体模型，如图1所示。

连续流动

滑动流

过渡流