《JBT 9495.7-1999光学晶体光学均匀性测量方法》专题研究报告.pptx

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三、测量原理大揭秘：干涉法如何捕捉折射率的“微小波动”？;;

（二）干涉仪选型：泰曼-格林与马赫-曾德尔光路的优劣对决

在干涉仪的具体选型上，JB/T9495.7-1999虽然没有强制指定某一种干涉仪类型，但业界实践中主要采用泰曼-格林（Twyman-Green）干涉仪或马赫-曾德尔（Mach-Zehnder）干涉仪。泰曼-格林干涉仪结构紧凑，抗振动性能相对较好，适合测量反射式样品或透射式样品的面形和均匀性，在晶体加工企业的质检线上应用广泛。马赫-曾德尔干涉仪则具有参考光和测试光完全分离的优势，可以独立控制两路光束的状态，特别适合需要精确测量透过波前的场景