1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 航空/航天

CN114975318B 一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法 （北京航天控制仪器研究所）.docxVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.55万字
  • 约 24页
  • 2026-03-24 发布于山西
  • 举报

CN114975318B 一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法 （北京航天控制仪器研究所）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN114975318B

    (45)授权公告日2025.06.17

    (21)申请号202210472027.5

    (22)申请日2022.04.29

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114975318A

    (43)申请公布日2022.08.30

    (73)专利权人北京航天控制仪器研究所

    地址100854北京市海淀区北京142信箱

    403分箱

    (72)发明人邢朝洋赵雪薇李男男孙鹏

    (74)专利代理机构中国航天科技专利中心11009

    专利代理师贾文婷

    (51)Int.Cl.

    H01

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >