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- 2026-03-24 发布于上海
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115172300A
(43)申请公布日2022.10.11
(21)申请号202210849822.1
(22)申请日2022.07.19
(71)申请人绿芯半导体(厦门)有限公司
地址361026福建省厦门市海沧区中国(福
建)自由贸易试验区厦门片区(保税港
区)海景路268号3号楼302室D
(72)发明人王序伦郑擘汤海华蔡玉鑫
朱正峰
(51)Int.Cl.
H01L23/367(2006.01)
H01L23/40(2006.01)
H01L23/473(2006.01)
权利要求书2页说明
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