CN119536375A 真空设备的旋转工件台的控制方法、装置及真空设备 （佛山市博顿光电科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119536375A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202510106651.7C23C14/50(2006.01)

(22)申请日2025.01.23

(71)申请人佛山市博顿光电科技有限公司

地址528225广东省佛山市南海区狮山镇

华沙路12号之一南海平谦国际智慧产

业园A5-1

申请人中山市博顿光电科技有限公司

(72)发明人刘伟基刘运鸿冀鸣

(74)专利代理机构广州市律帆知识产权代理事

务所(普通合伙)44614

专利代理师余永文

(51)Int.Cl.

G05D3/12(2006