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- 2026-03-24 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN110400780B
(45)授权公告日2025.01.21
(21)申请号201910666098.7H01L21/48(2006.01)
H01L21/56(2006.01)
(22)申请日2019.07.23
(56)对比文件
(65)同一申请的已公布的文献号
申请公布号CN110400780ACN108389822A,2018.08.10
CN210073816U,2020.02.14
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