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微纳机电谐振结构：原理、设计与传感器应用的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技快速发展的浪潮中，微纳机电系统（Micro/Nano-Electro-MechanicalSystems，MEMS/NEMS）技术作为多学科交叉融合的前沿领域，正引领着众多行业的变革与创新。微纳机电谐振结构与传感器作为MEMS/NEMS技术的核心组成部分，凭借其独特的物理特性和卓越的性能，在众多领域展现出了巨大的应用潜力，成为推动各领域技术进步的关键力量。

从科学研究的角度来看，微纳机电谐振结构与传感器为微观世界的探索提供了强有力的工具。它们能够对微观尺度下的物理量、化学量和生物量进行精确测量