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纳米级微电子制造技术创新路径

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.3研究内容与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

纳米级微电子制造基础技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.1纳米加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2材料制备与分析技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3工艺集成与控制技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

关键技术突破与创新方向．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1高精度加工技术突破．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1.1极端紫外光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.1.2电子束