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- 2026-03-26 发布于浙江
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ICSCCS71.020J7463标青海省地方准DB63/T2467—2025多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技术规范2025-09
ICS
CCS
71.020
J74
63
标
青
海
省
地
方
准
DB63/T2467—2025
多晶硅制造装置基于风险的评价与检验技
术规范
2025-09-24发布
2025-11-01实施
青海省市场监督管理局
发布
DB63/T2467—2025目次前言 II1范围 12规范性引用文件 13术语和定义 1
DB63/T2467—2025
目
次
前
言 II
1
范围 1
2
规范性引用文件 1
3
术语和定义 1
4
装置损伤分布 2
5
关键设备主要损伤及部位 4
6
风险评估过程及要求 4
7
基于风险的检验策略制定 5
8
风险评估质量评定 6
附
录
A
(资料性)
多晶硅制造装置损伤分布流程图 7
附
录
B
(资料性)
多晶硅制造装置风险评估质量评定 11
I
DB63/T2467—2025前言
DB63/T2467—2025
前
言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
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