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- 2026-03-25 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN119529678B
(45)授权公告日2025.04.18
(21)申请号202510096214.1H01L21/306(2006.01)
(22)申请日2025.01.22(56)对比文件
(65)同一申请的已公布的文献号CN109096990A,2018.12.28
申请公布号CN119529678AWO2016115153A1,2016.07.21
审查员黄亚林
(43)申请公布日2025.02.28
(73)专利权人齐芯微（绍兴）电子材料科技有限
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